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合适机器

刻印

2"-200mm

IL 600

• 手动操作
• 适用于不同晶圆的晶圆支架
• 适用于低产量

载具 单片晶圆

产能 低

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刻印

2"-200mm

IL 1000

• 自动操作
• 一个装载站
• 占用空间小

载具 OC

产能 中

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刻印

2"-200mm

IL 2000

• 自动操作
• 四个装载站
• 也可配置分选功能

载具 OC

产能 高

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刻印

200mm

IL C2000

• 自动操作
• 多达三个装载站
• ISO 3 级微环境

载具 SMIF

产能 中/高

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刻印

300mm

IL C3000

• 抛光晶圆的软打标
• 适用于通过 E84 进行 AGV/OHT 装载
• ISO 3 级微环境

载具 FOUP

产能 中/高

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刻印

300mm

IL D3000

• 未抛光晶圆的硬打标
• 适用于通过 E84 进行 AGV/OHT 装载
• 可选配风扇过滤单元 (FFU)

载具 OC / FOUP

产能 中/高

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刻印

300mm

IL 3000

• 未抛光晶圆的硬打标
• 适用于手动装载
• 四个装载站

载具 OC

产能 高

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分选

2"-200mm

IL 2600

• 按 ID、重量和厚度分选
• 高吞吐量，每小时高达 250 片晶圆

载具 敞开式晶圆盒 (Open Cassette)

装载口 最多 6 个

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分选

300mm

IL C3200

• 按 ID 或检测结果分选
• 适用于 AGV/OHT 装载
• 可选 ISO 3 级微环境

载具 OC, SMIF, FOUP

装载口 最多 3 个

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分选

300mm

IL C3600

• 按 ID 或检测结果分选
• 适用于 AGV/OHT 装载
• 可选 ISO 3 级微环境

载具 OC, SMIF, FOUP

数量 最多 5 个

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分选

300mm

IL C3800

• 按 ID 或检测结果分选
• 适用于 AGV/OHT 装载
• 可选 ISO 3 级微环境

载具 OC, SMIF, FOUP

数量 最多 7 个

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