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IL 2600

IL2600 是一款高性能、全自动的晶圆分选系统，适用于 2″ 至 200 mm 晶圆。该设备可按晶圆 ID、重量或厚度，实现可靠的晶圆分选、拆分、合并与转移。

凭借紧凑的结构设计与多样化的配置选项，IL 2600 为现代半导体、LED 及化合物晶圆生产提供可靠解决方案。

适用于 2” 至 200 mm 晶圆的拆分、合并与分选
最多 6 个开放式卡匣工位
支持真空或 Edge Grip 夹持搬运
分选吞吐量：250 片晶圆/小时
转移吞吐量：550 片晶圆/小时

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紧凑 & 可定制

专为紧凑而生，拥有无限可能

IL 2600 机身尺寸紧凑（1.32 m × 1.25 m），并提供多样化的配置选项，为现代芯片与晶圆生产提供可靠的分选解决方案。

快速 & 高性能

最多 6 个工位与高吞吐量

IL 2600 配备最多 6 个开放式卡匣工位，分选模式吞吐量最高可达 250 片晶圆/小时，转移模式最高可达 550 片晶圆/小时，专为高效生产流程而设计。为实现最大灵活性，提供真空与 Edge-Grip 搬运方式。

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