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IL 600

IL600 是那些需要最高打标质量但无需高度自动化用户的理想入门级解决方案。凭借手动操作和精确的晶圆夹具进行对准和定心，该系统可提供与我们更大型的 InnoLas 系统相同的卓越打标质量——紧凑、可靠且经济高效。非常适合研发以及将灵活性放在首位的较小生产量。

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打标

在多种材料上实现高质量打标

凭借多种可用的激光束源，所有半导体行业常见的晶圆材料都可以进行清洁、无颗粒的打标。IL600 也不例外，因此仅使用高质量的激光源。

灵活性

适用于 2 英寸至 200 毫米晶圆的夹具

InnoLas 开发的晶圆夹具可在几分钟内完成快速转换，从而能够处理 2 英寸至 200 毫米范围内的晶圆。单个晶圆通过真空吸笔手动放置。

关闭晶圆站后，打标将根据预设的打标配方启动——可选择全自动或通过按钮启动。

其他晶圆打标系统

2 英寸-200 毫米

IL 1000

IL 1000

自动处理
一个装载站
所需空间小

载具开放式卡匣

2 英寸-200 毫米

IL 2000

IL 2000

自动处理
四个装载站
也可配置分选功能

载具开放式卡匣

IL C2000

IL C2000

自动处理
最多三个装载站
ISO 3 迷你环境

吞吐量中/高

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