占地面积
小体积，高性能
IL 1000 的尺寸仅为 1,430 x 920 毫米，可能是市场上最紧凑的自动晶圆打标系统。尽管占地面积小，该机器仍可装载多达 25 片晶圆，并根据您的个性化要求进行全自动打标。
符合 SEMI 标准的打标
高达 100 WPH
打标精度约 +/-100μm
占地面积小
适用于中等产量
该系统每小时总共可为多达 100 片晶圆标记唯一代码，因此 IL 1000 非常适合中等生产规模。
打标
晶圆打标专业技术
在半导体晶圆打标领域拥有超过 30 年的经验，这极大地有助于对半导体行业常用的所有晶圆材料进行精确且无颗粒的打标。IL1000 在质量上绝不妥协，因为其仅采用技术水平极高的优质激光源。
