Systemübersicht
Finden Sie die passende Maschine
für Ihre Bedüfnisse
Speziell entwickelte Lasertechnologie für höchste Qualität auf allen Wafermaterialien.
Marking
2"-200mm
IL 600
- Manuelles Handling
- Waferhalterung für verschiedene Wafer
- Geeignet für geringes Volumen
Marking
2"-200mm
IL 1000
- Automatisches Handling
- Eine Ladestation
- Kleiner benötigter Stellplatz
Marking
2"-200mm
IL 2000
- Automatisches Handling
- Vier Ladestationen
- Auch mit Sortierfunktion konfigurierbar
Marking
200mm
IL C2000
- Automatisches Handling
- Bis zu drei Ladestationen
- ISO 3 Minienvironment
Marking
300mm
IL 3000
- Hard Marking von unpolierten Wafern
- Geeignet für manuelle Beladung
- Vier Ladestationen
Marking
300mm
IL C3000
- Soft Marking von polierten Wafern
- Geeignet für AGV/OHT Beladung via E84
- ISO 3 Minienvironment
Marking
300mm
IL D3000
- Hard Marking von unpolierten Wafern
- Geeignet für AGV/OHT Beladung via E84
- Fan Filter Units optional
Sorting
2"-200mm
IL 2600
- Sortierung nach ID, Gewicht & Dicke
- Hoher Durchsatz bis zu 250 Wafer pro Stunde
- Geinge Abmaße
Sorting
300mm
IL C3200
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
Sorting
300mm
IL C3600
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
Sorting
300mm
IL C3800
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
Beratung & Konfiguration
Beratung & Konfiguration
Von der ersten Anforderungsanalyse bis zur erfolgreichen Endabnahme Ihres Wafer Marking Systems begleitet Sie ein persönlicher Ansprechpartner – für eine Lösung, die exakt auf Ihre Fertigungsanforderungen zugeschnitten ist.
International Sales Team
InnoLas Wafer Marking und Sorting Systeme bieten höchste Präzision, Reinraumtauglichkeit und vollständige Rückverfolgbarkeit für effiziente, stabile Halbleiterprozesse.
- Offline oder komplette MES-Anbindung via SECS/GEM
- Optionale kundenspezifische Schnittstellen
- Manuelle oder vollautomatische AGV/OHT Beladung via E84