Systeme

Motorisierte Strahlaufweitung
- Weitet den Rohstrahl des Laser von 2x bis 8x auf
- Positionierung der Optiken über hochakurate Piezoantriebe
- Verwendbar für 355, 532 und 1064nm Laserstrahlung
Edge Grip Wafer Flipper
- Flipt die Waferoberseite nach unten
- Fixierung des Wafers nur am Rand
- Für 150, 200 oder 300mm Waferdurchmesser
Edge Grip Aligner
- Hochakurate Ausrichtung und Zentrierung des Wafers
- Fixierung des Wafers nur am Rand
- Für 150, 200 oder 300mm Waferdurchmesser
Autoselect Stationsplatte
- Erkennung von unterschiedlichen Kassetten durch elektromechanischen Sensoren
- Erkennung Waferhorden zwischen 2 Zoll und 200mm
Edge Grip und Vakuum Endeffektoren
- Hartcoatierte Aluminium oder Keramik Endeffktoren für alle Wafergrößen
- Karbon Edge Grip Endeffektoren für 150/200 oder 300mm Wafer