成本效益
卓越可用性与最低单片晶圆成本
通过四个工位，该设备可同时装载多达 100 片晶圆。借助对工单的智能串联，装卸卡匣过程中不会产生任何停机。
符合 SEMI 标准的标记
最高 180 WPH
标记精度约 +/-100um
98% 运行时间
适用于高产量
双末端执行器与同步处理是该系统可实现每小时最多标记 180 片晶圆的关键——因此 IL2000 非常适合高产量生产。
