可定制性
正面、背面，还是两者兼顾？
基础机型可通过多种可选功能灵活适配客户的个性化需求与要求。因此，设备可选择在晶圆正面、背面，或——在同一作业中——同时在两面进行标记，始终保持最高精度。
成本效益
最高生产效率与吞吐量
为实现高效生产流程，IL3000 配备带单臂机器人与双端末端执行器的自动化搬运系统。四个卡匣工位可实现灵活上料与连续物料流。
符合 SEMI 标准
最高 125 WPH
标记精度约 ±100 µm
98% 运行时间
适用于高产量生产
硬标记
吞吐量最高可达每小时 125 片晶圆——符合 SEMI M12 与 T7 规范，IL 3000 专为对生产效率与工艺稳定性要求较高的应用而设计。
