模块化
一个平台——多种应用
IL C3600 的突出优势在于其模块化且可适配的架构。系统可根据客户需求配置不同的搬运与功能模块，并针对特定测量与检测任务进行定制。
由此形成一个灵活的平台，适用于需要将自动化晶圆搬运、测量与检测相结合的应用。当然，也可实现客户定制集成以及外部系统对接。
厚度测量
AOI
人工光学检测
边缘扫描
正面或背面扫描
XRD
可靠性
精密搬运与智能集成相结合
针对 300mm 晶圆处理，IL C3600 配备单臂或双臂机器人，并可配置最多五个自动 FOUP Loadport。系统在 ISO 3 迷你环境中运行，并支持通过 AGV、PGV 和 OHT 实现自动上料。
因此，IL C3600 为现代生产与测试环境提供理想基础——可作为分选系统、EFEM，或作为用于测量与检测解决方案的集成搬运平台。
