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IL D3000

对未抛光晶圆进行高质量、高速度的硬激光标记（HLM）是 IL D3000 平台的理想应用领域之一。晶圆可灵活放置于开放式晶舟（Open Cassette）或 FOUP 中，并可通过 SEMI E84 标准由 AGV 或 OHT 自动装载至系统。

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可定制性

可按需配置——打造匹配的晶圆标记机

通过多种可选功能，可根据客户的需求与要求对基础设备进行个性化扩展。IL2000 甚至可提供分选功能，使系统也可作为晶圆分选机使用。

洁净度

ISO 3 迷你环境，确保最高洁净度

通过最多两座 SMIF 工位，可在设备上同时装载多达 50 片晶圆。工艺腔与传输腔始终保持轻微正压，使晶圆仅受洁净、过滤空气的吹扫。

机器人可配置为单臂或双臂，使 IL D3000 非常适用于中到高产量。

更多晶圆标记系统

IL C3000

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对抛光晶圆进行软标记
支持通过 E84 进行 AGV/OHT 上料
ISO 3 迷你环境

吞吐量中/高

IL 3000

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对未抛光晶圆进行硬标记
适用于手动上料
四个上料工位

载具开放式晶舟

+49 8143 24195-0 sales@il-semi.com 交通路线个人支持