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IL C2000

IL C2000 专为在 SMIF Pod 中搬运的 200mm 晶圆实现无颗粒标记而开发。集成的 ISO 3 级（ISO EN 14644-1）微环境可在整个过程中可靠保持晶圆表面洁净——非常适合最高洁净度要求。凭借光机对准以及可选的高精度双臂机器人系统，IL C2000 的标记产能可达每小时 160 片晶圆，并兼容常见的 AGV 和 OHT 上料系统。

IL C2000 晶圆打标系统

IL C3800 内部的搬运机器人

可定制性

可按需定制配置——匹配您的晶圆标记机

通过多种可选功能，可根据客户的需求与要求对基础机型进行个性化扩展。IL2000 甚至提供分选功能，使该系统也可用作晶圆分选机。

洁净度

ISO 3 微环境带来最高洁净度

设备最多配备两套 SMIF 工位，可同时装载多达 50 片晶圆。工艺腔与传输腔始终保持轻微正压，使晶圆仅接触洁净的过滤空气。

机器人可配置为单臂或双臂，使 IL C2000 非常适合配合 SMIF Pod 的中到高产量生产。

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