无限可能
模块化配置带来极高的灵活性
IL C3800 提供高度的配置自由度，能够针对不同的生产和工艺要求进行优化调整。根据应用需求，可集成多达七个装载口或同时使用多达两个检测模块。
因此，IL C3800 既能实现自动化晶圆供应的高吞吐量，又能在单一系统中整合多个测试和检测步骤。模块化架构创造了最大的灵活性，使 IL C3800 成为适用于现代晶圆搬运和检测应用的通用平台。
精确且温和的晶圆搬运
高达 240 WPH
拆分、合并与分选
EFEM
可进行定制化配置
洁净度
最高水平的洁净度
IL C3800 的微环境为敏感晶圆的加工创造了最佳条件。ULPA 高效过滤器、精确的流量调节以及内部全不锈钢设计，确保了受控且高纯净的工艺环境。这最大限度地降低了颗粒污染的风险，即使在最严苛的洁净度要求下，也能确保可靠的晶圆处理。
