可靠性
卓越的可用性
IL C3200 在日常生产运行中以高可靠性与高可用性见长。坚固且经过验证的系统技术确保流程稳定，并将非计划停机时间降至最低。因此，该晶圆搬运系统可支持连续生产，并为严苛的晶圆搬运需求提供可靠解决方案。
精准且温和的晶圆搬运
最高 240 WPH
拆分、合并与分选
98% 运行时间
支持个性化配置
可扩展性
可按需扩展并匹配相应计量方案
通过多种可选测量设备与检测应用，可将纯 IL C3200 搬运系统扩展为全自动检测设备。不符合既定要求的晶圆将在测量后立即自动剔除。同时，相应的测量结果将被保存并记录。
