IL 2600
Der IL2600 ist ein leistungsstarkes, vollautomatisiertes Wafer-Sortiersystem für 2″ bis 200mm Wafer. Die Maschine ermöglicht das zuverlässige Sortieren, Splitten, Mergen und Transferieren von Wafern – wahlweise nach Wafer-ID, Gewicht oder Dicke.
Dank ihrer kompakten Bauweise und der vielseitigen Konfigurationsmöglichkeiten bietet die IL 2600 eine zuverlässige Lösung für moderne Halbleiter-, LED- und Compound-Wafer-Produktion.
- Splitten, zusammenfügen und sortieren von 2” bis 200mm Wafern
- Bis zu 6 open Cassette Stationen
- Vakuum- oder Edge Grip Handling verfügbar
- Durchsatz Sortieren: 250 Wafer pro Stunde
- Durchsatz Transferieren: 550 Wafer pro Stunde
Auf Kompaktheit getrimmt mit unzähligen Möglichkeiten
Dank der kompakten Bauweise von 1,32m x 1,25m und der vielseitigen Konfigurationsmöglichkeiten bietet die IL 2600 eine zuverlässige Sortierlösung für die moderne Chip- & Waferproduktion.
Bis zu 6 Stationen und ein hoher Durchsatz
Mit bis zu sechs offenen Kassettenstationen und einem Durchsatz von bis zu 250 Wafern pro Stunde im Sortierbetrieb bzw. 550 Wafern pro Stunde im Transferbetrieb ist die IL 2600 optimal für effiziente Produktionsprozesse ausgelegt. Für maximale Flexibilität stehen Vakuum- und Edge-Grip-Handling zur Verfügung.
