IL C3200
Das IL C3200 Wafer Sorting System/EFEM wurde für die zuverlässige und präzise Handhabung von Wafern in anspruchsvollen Produktions- und Fertigungsumgebungen entwickelt. Das System ermöglicht ein effizientes Sortieren und Organisieren von Wafern und unterstützt damit automatisierte Prozesse in der Halbleiterindustrie.
- Splitten, zusammenfügen und sortieren von 300mm Wafern
- Bis zu 3 FOUP Loadports
- ISO 3 minienvironment (ISO 14644-1)
- Geeignet für PGV, AGV und OHT
- Vakuum- oder Edge Grip Handling verfügbar
Exzellente Verfügbarkeit
Der IL C3200 überzeugt durch seine hohe Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit im täglichen Produktionsbetrieb. Die robuste und bewährte Systemtechnik sorgt für stabile Prozesse und minimiert ungeplante Stillstandszeiten. So unterstützt das Waferhandlingssystem eine kontinuierliche Produktion und bietet eine zuverlässige Lösung für anspruchsvolle Anforderungen in der Wafer-Handhabung.
Individuell erweiterbar mit der passenden Metrologie
Mit einer Vielzahl optionaler Messmittel und Inspektionsanwendungen lässt sich das reine IL C3200 Handlingssystem zu einer vollautomatischen Inspektionsmaschine erweitern. Wafer, die die vorgegebenen Anforderungen nicht erfüllen, werden unmittelbar nach der Messung automatisch aussortiert. Gleichzeitig werden die jeweiligen Messergebnisse gespeichert und dokumentiert.
Weitere Wafersortingsysteme / EFEMs
IL 2600
- Sortierung nach ID, Gewicht & Dicke
- Hoher Durchsatz bis zu 250 Wafer pro Stunde
IL C3600
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
IL C3800
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich