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IL 1000
Der IL1000 vereint automatische Waferhandhabung und -Ausrichtung mit einem besonders kompakten Footprint. Wafer von 3 Zoll bis 200 mm werden ohne mechanisches Justieren präzise positioniert und markiert – schnell, wiederholgenau und platzsparend dank nur einer Kassettenstation. Die ideale Lösung für Unternehmen mit mittlerem Produktionsvolumen, die Automatisierung und Effizienz suchen, ohne auf Flexibilität zu verzichten.
- 3 Zoll bis 200mm Wafer
- Automatisiertes Handling & Ausrichtung der Wafer
- Eine Kassettenstation, daher kleiner Footprint
- Ideal für mittlere Produktionsvolumen
Kleiner Footprint - große Leistung
Mit Abmessungen von nur 1.430 x 920 mm ist der IL 1000 vermutlich das kompakteste automatisierte Wafermarkiersystem auf dem Markt. Trotz seiner geringen Stellfläche lässt sich die Maschine mit bis zu 25 Wafern beladen, die anschließend vollautomatisch nach Ihren individuellen Vorgaben beschriftet werden.
Insgesamt können mit dem System so bis zu 100 Wafer pro Stunde mit einem einzigartigen Code beschriftet werden – damit eignet sich der IL 1000 ideal für mittlere Produktionsvolumen.
Know-how beim Wafermarkieren
Über 30 Jahre Erfahrung beim Markieren von Halbleiterwafern helfen enorm dabei, sämtliche in der Halbleiterindustrie üblichen Wafermaterialien präzise und partikelfrei zu markieren. Der IL1000 macht dabei keine Abstriche bei der Qualität, denn zum Einsatz kommen ausschließlich hochwertige Laserquellen auf höchstem technischen Niveau.
Weitere Wafermarkiersysteme
IL 600
- Manuelles Handling
- Waferhalterung für verschiedene Wafer
- Geeignet für geringes Volumen
IL 2000
- Automatisches Handling
- Vier Ladestationen
- Auch mit Sortierfunktion konfigurierbar
IL C2000
- Automatisches Handling
- Bis zu drei Ladestationen
- ISO 3 Minienvironment

