IL C2000
Der IL C2000 wurde speziell für die partikelfreie Beschriftung von 200mm Wafern entwickelt, die in einem SMIF-Pod gehandhabt werden. Das integrierte Mini-Environment der Reinraumklasse 3 (ISO EN 14644-1) hält die Waferoberfläche während des gesamten Prozesses zuverlässig sauber – ideal für höchste Reinheitsanforderungen. Dank opto-mechanischer Ausrichtung und präzisem optional erhältlichen Dual-Arm-Robotersystem markiert der IL C2000 bis zu 160 Wafer pro Stunde und ist zudem kompatibel mit gängigen AGV und OHT Beladungssystemen.
- Verwendung für polierte 200mm Wafer (Softmarking)
- Automatisiertes Handling & Ausrichtung der Wafer
- Bis zu 2 SMIF Loadports
- ISO 3 Minienvironment (ISO 14644-1)
- Beladung via Semi E84 Standard möglich
Individuell konfigurierbar – für den passenden Wafermarkierer
Mit einer Vielzahl optionaler Features lässt sich die Basismaschine ganz nach den Wünschen und Anforderungen unserer Kunden individuell erweitern. Selbst eine Sortierfunktion ist für den IL2000 verfügbar, sodass sich das System sogar als Wafersorter einsetzen lässt.
Höchste Sauberkeit dank ISO3 Mini-Environment
Mit bis zu zwei SMIF-Stationen lassen sich auf der Maschine bis zu 50 Wafer gleichzeitig beladen. Dabei herrscht in der Prozess- und Transferkammer stets ein leichter Überdruck, sodass die Wafer ausschließlich mit sauberer, gefilterter Luft angeströmt werden.
Der Roboter kann als Single- oder als Dual-Arm ausgerüstet werden, wodurch sich der IL C2000 ideal für mittlere bis hohe Produktionsvolumen mit SMIF-Pods eignet.
Weitere Wafermarkiersysteme
IL 600
- Manuelles Handling
- Waferhalterung für verschiedene Wafer
- Geeignet für geringes Volumen
IL 1000
- Automatisches Handling
- Eine Ladestation
- Kleiner benötigter Stellplatz
IL 2000
- Automatisches Handling
- Vier Ladestationen
- Auch mit Sortierfunktion konfigurierbar