Wafer Marking

Die InnoLas Wafermarkiersysteme sind speziell dafür entwickelt, Halbleiterwafer mit einem individuellen Code zu beschriften. Dieser Prozess dient der Nachverfolgbarkeit jedes einzelnen Wafers während dem gesamten Herstellungsprozesses.
Um stets eine homogenen und sauberen Markierprozess auf unterschiedlichsten Materialien zu erhalten, verwenden wir einen speziell für die Markierung auf Halbleitermaterialien entwickelten Laser. Dieser garantiert, in Kombination mit dem optimalen optischen Aufbau, hochqualitative Beschriftungen und verhindert zudem einen negativen Einfluss auf nachfolgende Prozesse.

Eine Vielzahl von in der Halbleiterindustrie verwendeten Schrifttypen, wie z.B. SEMI OCR, SEMI T7 Data Matrix, Barcode 412 und „Engraved Mode“ können rezeptgesteuert auf die Wafer gelasert werden. Selbstverständlich finden die hierfür angewandten SEMI Spezifikationen Berücksichtigung. Eine exzellente und zuverlässige Lesbarkeit mit handelsüblichen Lesesystemen, zeichnet unsere kontinuierlich weiterentwickelten Markierprozesse zudem aus.

Applikation: Individuelle ID Markierung von Wafern
Standards: SEMI T5-0706 / SEMI M12-0706 / SEMI M13-0706 / SEMI T7-0303
Prozesse: Tiefenbeschriftung & partikelfreie Markierung
Materialien: 2” bis 450mm Halbleiter-, Compound- und LED-Wafer
Oberflächen: Poliert, gelappt, gesägt, geätzt, EPI sowie alle Weiteren
Lesbarkeit: Exzellent, mit menschlichem Auge sowie Lesesystem