Wafer Marking in Präzision
Die eindeutige Identifikation jedes einzelnen Wafers ist ein wesentlicher Bestandteil der modernen Halbleiterfertigung. Sie gewährleistet eine lückenlose Rückverfolgbarkeit entlang sämtlicher Fertigungsschritte und trägt damit maßgeblich zur Qualitätssicherung und Prozesskontrolle bei.
InnoLas unterstützt weltweit führende Chip- und Waferhersteller mit hochpräzisen, SEMI-konformen Markiersystemen, die speziell auf die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten sind.
- SEMI-konform
- Partikelfrei möglich
- Alle Wafergrößen
Welcher Prozess passt zu Ihren Wafern?
Unsere Systeme nutzen fortschrittliche Laser- und Galvoscanner-Technologien, welche für die beiden Hauptprozesse im Wafer Marking (Softmarking und Hardmarking) unabdingbar sind.
Soft Marking (SML) – Präzise Kennzeichnung ohne Kompromisse
Für hochwertige, polierte Wafer und EPI-Oberflächen ist Soft Marking die ideale Kennzeichnungsmethode. Mit einer Markiertiefe von, je nach Material, nur 0,5 bis 5 Mikrometern wird die empfindliche Waferoberfläche minimal belastet – ohne die elektrischen oder mechanischen Eigenschaften des Materials zu beeinträchtigen. Das partikelfreie Markierergebnis macht Soft Marking besonders reinraumtauglich und damit zur ersten Wahl für Chiphersteller, die höchste Oberflächenqualität und lückenlose Rückverfolgbarkeit gleichermaßen fordern.
Markiertiefe
0,5 – 5 µm
Kontamination
Partikelfrei
Prozess
Materialschmelze
Ideal für:
Hard Marking (HML) – Dauerhaft lesbar auf jeder Oberfläche
Raue, unpolierte oder mechanisch beanspruchte Waferoberflächen erfordern eine robuste Kennzeichnungsmethode, die auch unter anspruchsvollen Bedingungen zuverlässig lesbar bleibt. Hard Marking erzeugt mit einem Materialabtrag von 5 bis 100 Mikrometern eine tiefe, kontrastreiche Markierung, die selbst auf gesägten, geschliffenen oder geätzten Oberflächen einwandfrei funktioniert. Damit ist Hard Marking die optimale Lösung für Waferhersteller, die eine dauerhaft stabile und prozesssichere Kennzeichnung über die gesamte Wertschöpfungskette hinweg benötigen.
Materialabtrag
5 – 100 µm
Kontrast
Hoch
Prozess
Materialabtrag
Ideal für:
Verwendete Laser
Unsere speziell für die Halbleitermarkierung entwickelten Laser bieten höchste Stabilität selbst unter anspruchsvollen Produktionsbedingungen. Mit einer wartungsfreien Lebensdauer von etwa 50.000 Betriebsstunden minimieren sie Stillstandszeiten im Wafer Marking und senken Ihre Betriebskosten nachhaltig. Dank modernster Technologie überzeugen die Systeme zudem durch einen besonders niedrigen Energieverbrauch.
Einsatzgebiet
Entwickelt für den industriellen Einsatz
Lebensdauer
50.000 Stunden
Betriebskosten
sehr gering, da wartungsfrei
Geeignet für:
Unterstützte Materialien und Wafergrößen
Unsere Wafermarkiersysteme unterstützen ein breites Spektrum an Wafermaterialien:
Dank der großen Auswahl an Laserquellen können verschiedenste Halbleitermaterialien und Substrate unabhängig von Härte oder Oberfläche präzise und partikelfrei markiert werden – von polierten, gesägten und geätzten Wafern bis hin zu EPI und beschichteten Substraten.
Unterstützt werden Wafer mit Durchmessern von 2″, 3″, 4″, 5″ und 6″ sowie 200 mm und 300 mm. Auch quadratische Wafer mit 310x310mm können automatisiert prozessiert werden.
Das modulare Systemgestaltungskonzept erlaubt eine flexible Anpassung, sodass beispielsweise bei 300mm-Anlagen optional ein integriertes Setup für die 200mm Bearbeitung verfügbar ist.
Wafer Marking Systeme
Hochpräzise Technik Made in Germany – Vom Entry-Level bis zum High-Volume-Produktionssystem.
IL 600
- Manuelles Handling
- Waferhalterung für verschiedene Wafer
- Geeignet für geringes Volumen
IL 1000
- Automatisches Handling
- Eine Ladestation
- Kleiner benötigter Stellplatz
IL 2000
- Automatisches Handling
- Vier Ladestationen
- Auch mit Sortierfunktion konfigurierbar
IL C2000
- Automatisches Handling
- Bis zu drei Ladestationen
- ISO 3 Minienvironment
IL C3000
- Soft Marking von polierten Wafern
- Geeignet für AGV/OHT Beladung via E84
- ISO 3 Minienvironment
IL 3000
- Hard Marking von unpolierten Wafern
- Geeignet für manuelle Beladung
- Vier Ladestationen
IL D3000
- Hard Marking von unpolierten Wafern
- Geeignet für AGV/OHT Beladung via E84
- Fan Filter Units optional
Beratung & Konfiguration
Von der ersten Anforderungsanalyse bis zur erfolgreichen Endabnahme Ihres Wafermarkiersystems begleitet Sie ein persönlicher Ansprechpartner – für eine Lösung, die exakt auf Ihre Fertigungsanforderungen zugeschnitten ist.
Global Sales Team
InnoLas Wafer Marking Systeme bieten höchste Präzision, Reinraumtauglichkeit und vollständige Rückverfolgbarkeit für effiziente, stabile Halbleiterprozesse.
Vorteile – Unsere Systeme überzeugen
Unsere Kunden zählen zu den weltweit führenden Herstellern von Wafern sowie Halbleiterbauelementen,
so genannten Chips. Sie setzen auf Wafer Marker von InnoLas, weil sie damit Folgendes sicherstellen:
Lückenlose Rückverfolgbarkeit
Wählen Sie den optimalen Markierungsprozess basierend auf Ihrem Wafermaterial und Ihren Anforderungen.
Partikelfreie Markierungen
Partikelfreie Markierungen in definierter Tiefe, Qualität und SEMI‑konformen Fonts.
Universelle Materialunterstützung
Flexible Rezeptsteuerung
Höchste Sauberkeit
Nahtlose MES-Integration
Systeme nahtlos per MES/Host via SECS/GEM integrieren.
Gesteigerte Produktivität
Durchsatz, Qualität und Prozessstabilität signifikant steigern.
Automatische Qualitätsverifikation im laufenden Prozess
Hochauflösende Kameras prüfen Lesbarkeit, Kontrast und Markierposition für eine lückenlose Qualitätssicherung ohne manuellen Aufwand.
Unsere Plattformen ermöglichen eine durchgängig kontrollierte Kennzeichnung – ein entscheidender Baustein für fehlerfreie Linienführung, stabile Yield‑Daten und zuverlässige MES‑Traceability.
Markierqualität & Präzision
Alle InnoLas Wafermarkiersysteme übererfüllen die relevanten SEMI-Spezifikationen für die Waferidentifikation und -markierung:
Die Einhaltung dieser Standards gewährleistet Kompatibilität mit handelsüblichen Lesegeräten und nahtlose Integration in bestehende MES-Systeme (Manufacturing Execution Systems). Natürlich lassen sich auch Codes nach internen Vorgaben markieren – stets mit höchste Präzision.
Vollautomatische Qualitätsverifikation im laufenden Prozess
Hochauflösende Kameras prüfen Lesbarkeit, Kontrast und Markierposition beim Wafer Marking – automatisch und in Echtzeit – für eine lückenlose Qualitätssicherung ohne manuellen Aufwand.
Das Ergebnis: jede Markierung erfüllt höchste Anforderungen an Präzision, Rückverfolgbarkeit und Prozesssicherheit – auch entlang komplexer, mehrstufiger Produktionsketten.
Integration und Automatisierung
Unsere Wafermarkiersysteme sind für die nahtlose Integration in automatisierte Fertigungslinien konzipiert. Das Equipment Front End Module (EFEM) ermöglicht die standardisierte Anbindung an automatisierte Materialtransportsysteme (AMHS) einer Fab via E84 SEMI Standard.
Eine SECS II/GEM Schnittstelle ermöglicht den bidirektionalen Datenaustausch für Produktionssteuerung und Qualitätskontrolle zu gängigen MES-Systemen.
Maximale Anlagenverfügbarkeit & weltweiter Service
Unsere Wafer Marking Systeme bieten langlebige, wartungsfreie Laserquellen und Optiken, die einen unterbrechungsfreien Markierbetrieb und höchste Prozesssicherheit gewährleisten. Schneller Zugang zu Wartungsmodulen und moderne Remote-Diagnose ermöglichen frühzeitige Fehlererkennung und präventive Wartung.
Ein weltweit verfügbares Service-Team sorgt für schnelle Unterstützung – vor Ort oder remote. Das minimiert Stillstandszeiten und maximiert Anlagenverfügbarkeit für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen.
