Wafer Marking

IL 600

Der IL600 ist die ideale Einstiegslösung für alle, die höchste Markierqualität ohne großen Automatisierungsgrad benötigen. Mit manueller Handhabung und einer präzisen Waferaufnahme zur Ausrichtung und Zentrierung liefert das System dieselbe herausragende Markierqualität wie unsere größeren InnoLas-Systeme – kompakt, zuverlässig und kosteneffizient. Perfekt für Forschung & Entwicklung sowie geringere Produktionsvolumen, bei denen Flexibilität im Vordergrund steht.

Beschriftung

Hochqualitative Beschriftungen auf vielen Materialien

Dank der Vielzahl an zur Verfügung stehenden Laserstrahlquellen können alle in der Halbleiterindustrie gängigen Wafermaterialien sauber und partikelfrei beschriftet werden. Auch beim IL600 werden keine Kompromisse eingegangen, weshalb ausschließlich hochqualitative Laserquellen zum Einsatz kommen.

Wafer auf der Waferaufnahme im Markierbereich
Strukturierter Wafer auf der Waferaufnahme
Flexibilität

Eine Aufnahme für Wafer von 2" bis 200mm

Die von InnoLas entwickelte Waferaufnahme ermöglicht dank geringer Umbauzeiten von wenigen Minuten die Bearbeitung von Wafern im Bereich von 2″ bis 200 mm. Die Platzierung des einzelnen Wafers erfolgt manuell mit Hilfe einer Vakuumpinzette

SEMI Konforme Markierung
bis zu 60 WPH
MArkiergenauigkeit ca. +/-200µm
Sehr kleiner Footprint
Für R&D und Forschung

Nach dem Schließen der Waferstation startet die Beschriftung gemäß hinterlegtem Beschriftungsrezept – wahlweise vollautomatisch oder alternativ per Knopfdruck.

+49 8143 24195-0sales@il-semi.comAnfahrtPersönlicher Support

Unterlagen zum IL 600

Tragen Sie Ihre Kontaktdaten ein. Wir senden Ihnen Produktkatalog und Datenblatt direkt per E-Mail.

  • ProduktkatalogPDF · 6,0 MB
  • Technisches Datenblatt IL 600PDF · 230,7 KB

Die Dokumente sind auf Englisch.

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