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IL 600
Der IL600 ist die ideale Einstiegslösung für alle, die höchste Markierqualität ohne großen Automatisierungsgrad benötigen. Mit manueller Handhabung und einer präzisen Waferaufnahme zur Ausrichtung und Zentrierung liefert das System dieselbe herausragende Markierqualität wie unsere größeren InnoLas-Systeme – kompakt, zuverlässig und kosteneffizient. Perfekt für Forschung & Entwicklung sowie geringere Produktionsvolumen, bei denen Flexibilität im Vordergrund steht.
- Manuelles Be- und Entladen des Wafers
- Eine manuelle Waferaufnahme zur Ausrichtung des Wafers
- Ideal für geringe Produktionsvolumen und R&D
Hochqualitative Beschriftungen auf vielen Materialien
Dank der Vielzahl an zur Verfügung stehenden Laserstrahlquellen können alle in der Halbleiterindustrie gängigen Wafermaterialien sauber und partikelfrei beschriftet werden. Auch beim IL600 werden keine Kompromisse eingegangen, weshalb ausschließlich hochqualitative Laserquellen zum Einsatz kommen.
Eine Aufnahme für Wafer von 2" bis 200mm
Die von InnoLas entwickelte Waferaufnahme ermöglicht dank geringer Umbauzeiten von wenigen Minuten die Bearbeitung von Wafern im Bereich von 2″ bis 200 mm. Die Platzierung des einzelnen Wafers erfolgt manuell mit Hilfe einer Vakuumpinzette
Nach dem Schließen der Waferstation startet die Beschriftung gemäß hinterlegtem Beschriftungsrezept – wahlweise vollautomatisch oder alternativ per Knopfdruck.
Weitere Wafermarkiersysteme
IL 1000
- Automatisches Handling
- Eine Ladestation
- Kleiner benötigter Stellplatz
IL 2000
- Automatisches Handling
- Vier Ladestationen
- Auch mit Sortierfunktion konfigurierbar
IL C2000
- Automatisches Handling
- Bis zu drei Ladestationen
- ISO 3 Minienvironment

