Präzision für die Halbleiterindustrie
Hochqualitative Wafermarkier- und Sortiersysteme für die weltweit bekannten Halbleiterhersteller.
Vertraut von weltweit bekannten Wafer- und Chipherstellern
Unsere Lösungen
für die weltweit führenden Halbleiterhersteller.
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Wafer Marking
Unser Wafer Marking ermöglicht eine dauerhafte, hochpräzise und partikelfreie Kennzeichnung von Wafern für eine lückenlose Rückverfolgbarkeit in der Halbleiterproduktion.
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Wafer Sorting
Unser Wafer Sorting ermöglicht eine zuverlässige, automatisierte Sortierung und Klassifizierung von Wafern für eine effiziente und transparente Halbleiterproduktion.
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EFEM & Inspection
Wir bieten für Inspektions-und Messanwendungen die passende Automatisierung, stets angepasst auf die Bedürfnisse unserer Kunden.
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HighQ Components
highQ Components ist eine Marke der InnoLas Semiconductor GmbH und vertreibt Lasersicherheitskomponenten, wie etwa Shutter oder Faserlasersicherheitsmodule.
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Systeme
Speziell entwickelte Lasertechnologie für höchste Qualität auf allen Wafermaterialien.
IL 600
- Manuelles Handling
- Waferhalterung für verschiedene Wafer
- Geeignet für geringes Volumen
IL 1000
- Automatisches Handling
- Eine Ladestation
- Kleiner benötigter Stellplatz
IL 2000
- Automatisches Handling
- Vier Ladestationen
- Auch mit Sortierfunktion konfigurierbar
IL C2000
- Automatisches Handling
- Bis zu drei Ladestationen
- ISO 3 Minienvironment
IL 3000
- Hard Marking von unpolierten Wafern
- Geeignet für manuelle Beladung
- Vier Ladestationen
IL C3000
- Soft Marking von polierten Wafern
- Geeignet für AGV/OHT Beladung via E84
- ISO 3 Minienvironment
IL D3000
- Hard Marking von unpolierten Wafern
- Geeignet für AGV/OHT Beladung via E84
- Fan Filter Units optional
IL 2600
- Sortierung nach ID, Gewicht & Dicke
- Hoher Durchsatz bis zu 250 Wafer pro Stunde
IL C3200
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
IL C3600
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
IL C3800
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
Qualität - Made in Germany
Seit über 30 Jahren entwickeln und fertigen wir am Hauptsitz in Inning am Ammersee hochpräzise Sondermaschinen für die weltweit führenden Halbleiterhersteller.
Spezialist in der Halbleiterindustrie
Wir konzentrieren uns seit Jahrzenten auf das Wafermarkieren und -sortieren und die Automatisation von Inspektionsmodulen.
Maßgeschneiderte Lösungen statt Standardmaschinen
Jeder Kunde hat unterschiedliche Anforderungen. Wir werden diesen mit individuellen Plattformen und einer Vielzahl von optionalen Features gerecht.
Innovation & Technologie
Die kontinuierliche Weiterentwicklung unserer Systeme und Komponenten, sowie die hohe Fertigungstiefe zeichnen uns aus.
Weltweiter Kundensupport
Experten mit jahrzehntelanger Branchenerfahrung und umfangreichem Wissen sitzen weltweit nahe an den Produktionsstandorten unserer Kunden, um eine unverzügliche Unterstützung zu gewährleisten.
News & Aktuelles
immer auf dem Laufenden bleiben…
Beratung & Konfiguration
Von der ersten Anforderungsanalyse bis zur erfolgreichen Endabnahme Ihres Wafer Marking oder Wafer Sorting Systems begleitet Sie ein persönlicher Ansprechpartner – für eine Lösung, die exakt auf Ihre Fertigungsanforderungen zugeschnitten ist.
InnoLas Wafer Marking Systeme bieten höchste Präzision, Reinraumtauglichkeit und vollständige Rückverfolgbarkeit für effiziente, stabile Halbleiterprozesse.
InnoLas Sales Team