Wafer Sorting / EFEM

IL C3600

Der IL C3600 ist weit mehr als ein leistungsfähiges Wafersortiersystem. Durch sein flexibles Anlagenkonzept eignet er sich ebenso hervorragend als EFEM (Equipment Front End Module) für automatisierte Prozess-, Mess- und Inspektionsanwendungen.

Modularität

Eine Plattform – zahlreiche Anwendungen

Die besondere Stärke des IL C3600 liegt in seiner modularen und anpassungsfähigen Architektur. Je nach Kundenanforderung kann das System mit unterschiedlichen Handling- und Funktionsmodulen ausgestattet und an spezifische Mess- und Inspektionsaufgaben angepasst werden.

So entsteht eine flexible Plattform für Anwendungen, bei denen automatisiertes Wafer-Handling, Messung und Inspektion miteinander verbunden werden müssen. Auch kundenspezifische Integrationen und die Anbindung externer Systeme sind selbstverständlich möglich.

Zuverlässigkeit

Präzises Handling trifft auf intelligente Integration

Für die Verarbeitung von 300mm Wafern verfügt der IL C3600 über einen Single- oder Dual-Arm-Roboter mit und kann mit bis zu fünf automatischen FOUP-Loadports ausgestattet werden. Das System arbeitet in einer ISO-3-Mini-Environment-Umgebung und unterstützt die automatisierte Beladung über AGV, PGV und OHT.

Damit bietet der IL C3600 eine ideale Basis für moderne Produktions- und Prüfumgebungen – als Sortiersystem, als EFEM oder als integrierte Handling-Plattform für Mess- und Inspektionslösungen.