IL C3800
Der Allrounder mit bis zu sieben Loadports oder zwei Inspektionseinheiten kann mit einer Vielzahl von optionalen Features ergänzt werden, um den Anforderungen unserer Kunden exakt zu erfüllen.
- Splitten, zusammenfügen und sortieren von 300mm Wafern
- Bis zu 7 Loadports
- ISO 3 minienvironment (ISO 14644-1)
- Geeignet für PGV, AGV und OHT
- Vakuum- oder Edge Grip Handling verfügbar
Maximale Flexibilität durch modulare Konfiguration
Der IL C3800 bietet ein hohes Maß an Konfigurationsfreiheit und lässt sich optimal an unterschiedliche Produktions- und Prozessanforderungen anpassen. Je nach Anwendung können bis zu sieben Loadports integriert oder bis zu zwei Inspektionsmodule gleichzeitig eingesetzt werden.
Damit ermöglicht der IL C3800 sowohl einen hohen Durchsatz bei der automatisierten Wafer-Bereitstellung als auch die Kombination mehrerer Prüf- und Inspektionsschritte innerhalb eines Systems. Die modulare Architektur schafft dabei maximale Flexibilität und macht den IL C3800 zu einer vielseitig einsetzbaren Plattform für moderne Wafer-Handling- und Inspektionsanwendungen.
Sauberkeit auf höchstem Niveau
Das Mini-Environment des IL C3800 schafft optimale Bedingungen für die Verarbeitung sensibler Wafer. ULPA Hochleistungsfilter, eine präzise Flow-Regulierung und die konsequente Edelstahlausführung des Interiors sorgen für eine kontrollierte und hochreine Prozessumgebung. Dadurch wird das Risiko von Partikelkontaminationen minimiert und eine zuverlässige Wafer-Handhabung auch bei anspruchsvollsten Reinheitsanforderungen gewährleistet.
Weitere Wafersortingsysteme
IL 2600
- Sortierung nach ID, Gewicht & Dicke
- Hoher Durchsatz bis zu 250 Wafer pro Stunde
IL C3200
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich
IL C3600
- Sortierung nach ID oder Inspektionsergebnis
- Geeignet für AGV/OHT Beladung
- ISO 3 Minienvironment erhältlich