IL 3000
Mit der IL 3000 steht ein leistungsstarkes, automatisiertes Wafermarkiersystem für die industrielle Halbleiterfertigung zur Verfügung. Das System wurde speziell für die präzise und reproduzierbares Hard Laser Marking (HLM) von 300mm Wafern entwickelt und eignet sich insbesondere für unpolierte Wafer.
Die Kombination aus leistungsfähiger Lasertechnologie, präzisem Wafer-Handling und automatisierten Prozessabläufen ermöglicht eine zuverlässige Identifikation der Wafer – insbesondere bei hohen Produktionsvolumen.
- Verwendung für unpolierte 300mm Wafer (Hard Marking)
- Automatisiertes Handling & Ausrichtung der Wafer
- Bis zu 4 Open Cassette Stationen
- Viele optionale Features konfigurierbar
Vorderseite, Rückseite, oder doch beides?
Die Basismaschine lässt sich durch eine Vielzahl optionaler Features flexibel an die individuellen Wünsche und Anforderungen unserer Kunden anpassen. So markiert die Maschine den Wafer wahlweise auf der Vorderseite, der Rückseite oder – im selben Job – auf beiden Seiten, stets mit höchster Präzision.
Höchste Produktivität & Durchsatz
Für einen effizienten Produktionsablauf verfügt die IL3000 über ein automatisiertes Handling-System mit Single-Arm-Roboter und Double-End-Effektor. Vier Kassettenstationen ermöglichen eine flexible Beschickung und einen kontinuierlichen Materialfluss.
Mit einem Durchsatz von bis zu 125 Wafern pro Stunde – gemäß SEMI M12 & T7 Spezifikation ist die IL 3000 für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Produktivität und Prozessstabilität ausgelegt.
