IL C3000
Der IL C3000 ist die ideale Lösung für die partikelfreie Beschriftung polierter 300mm Wafer. Die Wafer werden vollautomatisch gehandhabt und ausgerichtet – über bis zu drei FOUP Loadports gelangen sie direkt in das integrierte ISO-3-Minienvironment (nach ISO 14644-1), welches höchste Reinheitsanforderungen erfüllt und die Waferoberfläche während des gesamten Prozesses zuverlässig sauber hält. Optional lässt sich das System zusätzlich mit Edge Grip Handling ausstatten – für noch schonendere Wafertransfers.
- Verwendung für polierte 300mm Wafer (Softmarking)
- Automatisiertes Edge Grip Handling & Ausrichtung der Wafer
- Bis zu 3 Loadports
- Automatisierte Beladung via Semi E84 Schnittstelle möglich
- ISO 3 Minienvironment (ISO 14644-1)
Individuell konfigurierbar – für den passenden Wafermarkierer
Mit einer Vielzahl optionaler Features lässt sich die Basismaschine ganz nach den Wünschen und Anforderungen unserer Kunden individuell erweitern. Selbst eine Sortierfunktion ist für den IL2000 verfügbar, sodass sich das System sogar als Wafersorter einsetzen lässt.
Höchste Sauberkeit dank ISO3 Mini-Environment
Mit bis zu zwei SMIF-Stationen lassen sich auf der Maschine bis zu 50 Wafer gleichzeitig beladen. Dabei herrscht in der Prozess- und Transferkammer stets ein leichter Überdruck, sodass die Wafer ausschließlich mit sauberer, gefilterter Luft angeströmt werden.
Der Roboter kann als Single- oder als Dual-Arm ausgerüstet werden, wodurch sich der IL C2000 ideal für mittlere bis hohe Produktionsvolumen mit SMIF-Pods eignet.
