IL D3000
Hochqualitatives und schnelles Hard Laser Marking (HLM) von unpolierten Wafern zählt zu den idealen Einsatzbereichen der IL D3000 Plattform. Die Wafer können dabei flexibel in Open Cassettes oder FOUPs bereitgestellt und automatisiert via SEMI E84 Standard per AGV oder OHT auf das System geladen werden.
- 300mm Wafer
- Automatisiertes Beladen der Maschine durch ein OHT System möglich
- Kann optional mit FFUs ausgestattet werden
- Ideal für hohe Produktionsvolumen und 24/7 Produktion
Individuell konfigurierbar – für den passenden Wafermarkierer
Mit einer Vielzahl optionaler Features lässt sich die Basismaschine ganz nach den Wünschen und Anforderungen unserer Kunden individuell erweitern. Selbst eine Sortierfunktion ist für den IL2000 verfügbar, sodass sich das System sogar als Wafersorter einsetzen lässt.
Höchste Sauberkeit dank ISO3 Mini-Environment
Mit bis zu zwei SMIF-Stationen lassen sich auf der Maschine bis zu 50 Wafer gleichzeitig beladen. Dabei herrscht in der Prozess- und Transferkammer stets ein leichter Überdruck, sodass die Wafer ausschließlich mit sauberer, gefilterter Luft angeströmt werden.
Der Roboter kann als Single- oder als Dual-Arm ausgerüstet werden, wodurch sich der IL D3000 ideal für mittlere bis hohe Produktionsvolumen eignet.
