Wafer Marking

Wafer Marking

Die InnoLas Wafermarkiersysteme sind speziell dafür entwickelt, Wafer mit einem individuellen Code zu beschriften, der im gesamten Herstellungsprozess zur Identifizierung jedes einzelnen Wafers dient.
Hierfür finden verschiedenste optische Aufbauten Verwendung, um stets den ideal auf den Kunden abgestimmten Markierprozess auf unterschiedlichsten Materialien zu erhalten. Der speziell für die Markierung auf Halbleitermaterialien entwickelter Laser, welcher durch seine exzellente Stabilität eine homogene und partikelfreie Beschriftung garantiert, verhindert zudem einen negativen Einfluss auf nachfolgende Prozesse.

Eine Vielzahl von Schrifttypen, wie z.B. SEMI OCR, T7 Data Matrix, Barcode 412 und „Engraved Mode“ können rezeptgesteuert auf die Wafer aufgebracht werden. Selbstverständlich finden die hierfür angewandten SEMI Spezifikationen Berücksichtigung. Eine exzellente und zuverlässige Lesbarkeit mit handelsüblichen Lesesystemen, zeichnet die kontinuierlich weiterentwickelten Markierprozesse zudem aus.

  • Applikation:      Individuelle ID Markierung von Wafern
  • Standards:      SEMI T5-0706 / SEMI M12-0706 / SEMI M13-0706 / SEMI T7-0303
  • Prozesse:       Tiefenbeschriftung & partikelfreie Markierung
  • Materialien:      2” bis 450mm Halbleiter-, Compound- und LED-Wafer
  • Oberflächen:   Poliert, gelappt, gesägt, geätzt, EPI sowie alle Weiteren
  • Lesbarkeit:      Exzellent, mit menschlichem Auge sowie Lesesystem

Soft-Marking

  • Partikelfrei
  • Tiefe: 0,5 – 5 µm
  • Durchmesser: 30 – 70 µm
  • Verwendung auf polierten Wafern

Deep-Marking

  • Lokal begrenzte Verdampfung des Wafermaterials
  • Tiefe: 5 – 150 µm
  • Durchmesser: 25 – 110 µm
  • Verwendung auf unpolierten Wafern

Tape-Marking

  • Softmark und Deepmark möglich
  • Markierung durch das Dicing-Tape direkt auf den Wafer
  • Verwendung auf Wafern, welche auf Dicing Tape laminiert sind

Die-Marking  

  • Individuelle Markierung auf jedem einzelnen Die
  • Extrem schnelle Beschriftung
  • Sehr hohe Markiergenauigkeit