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Systems 设备产品

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Wafer Ø

mm

2" - 200 mm
300 mm
300/450 mm

OEM – 部件

  • 电动扩束器
    • 扩展激光束的2倍至8倍
    • 通过高精确的压电发动机来定位光学器件
    • 可用于355、532和1064nm的激光辐射
  • innolas-semiconductor-oem-flipper
    边缘握把晶圆翻转器
    • 翻转倒挂晶圆
    • 保持晶圆背面的清洁度
    • 可用于150、200或300mm的晶圆
  • innolas-semiconductor-oem-edge-grip-aligner
    边缘握把的对准器
    • 高精确的晶圆对准和定中心
    • 保持晶圆背面的清洁度
    • 可用于150、200或300mm的晶圆
  • innolas-semiconductor-oem-stationsplatte
    自动选择站板块
    • 通过机电传感器识别不同的片盒
    • 识别从2”至200mm的片盒
  • innolas-semiconductor-oem-endeffektor
    边缘握把和真空末端效应器
    • 硬铝涂层或陶瓷的末端效应器可执行在所有的晶圆直径