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IL C3000 HT
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Wafer Marking
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IL C3000 HT
Verwendung für polierte 300mm Wafer (Softmarking)
Automatisiertes Handling & Ausrichtung der Wafer
Bis zu 2 FOUP Loadports
ISO 3 Minienvironment (ISO 14644-1)
High Throughput Variante mit bis zu 180 Wafer/Stunde
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Maschinenvergleich
IL C3000 HT (Softmark)
Durchsatz:
120 wafer | hr
180 wafer | hr
200 wafer | hr
IL 3000 (Deepmark)
Durchsatz:
120 wafer | hr
180 wafer | hr
200 wafer | hr
IL C3000 (Softmark)
Durchsatz:
120 wafer | hr
180 wafer | hr
200 wafer | hr
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