IL C3000
- Wafer Marking Zurück zur Maschinenübersicht
- IL C3000
- Verwendung für polierte 300mm Wafer (Softmarking) Automatisiertes Handling & Ausrichtung der Wafer Bis zu 2 Loadports ISO 3 Minienvironment (ISO 14644-1) Edge Grip Handling verfügbar
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Maschinenvergleich
- IL C3000 (Softmark)
- Durchsatz: 120 wafer | hr180 wafer | hr200 wafer | hr
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- Durchsatz: 120 wafer | hr180 wafer | hr200 wafer | hr
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