IL 4000
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- IL 4000
- Verwendung für unpolierte 450mm Wafer (Deepmarking) Automatisiertes Handling & Ausrichtung der Wafer Bis zu 2 Loadports Kann auch als Bridge Tool verwendet werden (300/450mm)
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Maschinenvergleich
- IL 4000 (Deepmark)
- Durchsatz: 85 wafer | hr100 wafer | hr
- IL C4000 (Softmark)
- Durchsatz: 85 wafer | hr100 wafer | hr
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