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IL 3000
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Wafer Marking
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IL 3000
Verwendung für unpolierte 300mm Wafer (Deepmarking)
Automatisiertes Handling & Ausrichtung der Wafer
Bis zu 4 Open Cassette Stationen
Viele optionale Features konfigurierbar
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Download Produktkatalog
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Maschinenvergleich
IL 3000 (Deepmark)
Durchsatz:
120 wafer | hr
180 wafer | hr
200 wafer | hr
IL C3000 (Softmark)
Durchsatz:
120 wafer | hr
180 wafer | hr
200 wafer | hr
IL C3000 HT (Softmark)
Durchsatz:
120 wafer | hr
180 wafer | hr
200 wafer | hr
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