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IL 2600
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Wafer Sorting
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IL 2600
Splitten, zusammenfügen und sortieren von 2” bis 200mm Wafern
Bis zu 6 open Cassette Stationen
Vakuum- oder Edge Grip Handling
Durchsatz Sortieren: 250 Wafer pro Stunde
Durchsatz Transferieren: 550 Wafer pro Stunde
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