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IL C4600
Wafer Sorting
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IL C4600
Splitten, zusammenfügen und sortieren von 450mm Wafern
Bis zu 6 FOUP Loadports
ISO 3 minienvironment (ISO 14644-1)
Geeignet für PGV, AGV und OHT
Kann als Bridge Tool verwendet werden (300/450mm)
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