Der beschriftete ID-Code wird mit einer Kamera gelesen und dem Code entsprechend in der Zielhorde abgelegt. Hier gibt es folgende Möglichkeiten:
Die Masse des Wafers wird mit einer hochpräzisen Waage gemessen, um darauffolgende Prozesse im Produktionsprozess individuell anzupassen. Hierbei können die Wafer je nach Gewicht aufsteigend, absteigend oder randomisiert abgelegt werden.
Die Dicke des Wafers wird mit einer hochpräzisen Sensorik gemessen, um darauffolgende Prozesse im Produktionsprozess individuell anzupassen. Hierbei können die Wafer je nach Dicke aufsteigend, absteigend oder randomisiert abgelegt werden.
Die Wafer können aus einer Kassette (z.B. Transporthorde) in eine weitere Kassette (z.B. Prozesshorde) ohne Lesung und Ausrichtung mit extrem hohem Durchsatz transferiert werden. Des Weiteren können die InnoLas Wafersortieranlagen als vollautomatisches Be- und Entladesystem für Mess- oder Inspektionstools verwendet werden (EFEM).