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Mrz

Kooperation mit der ISRA Vision Systems AG erfolgreich gestartet

Mit der ISRA Vision Systems AG wurde im Jahr 2015/2016 ein vollautomatisiertes Inspektionssystem entwickelt, aufgebaut und erfolgreich in Betrieb genommen. Der Transfer der Wafer zwischen Kassette und Inspektionsgerät und zurück erfolgt durch ein EFEM (TYP: IL C3600) der Firma InnoLas Semiconductor GmbH. Das Inspektionsmodul mit Beleuchtung, Sensorik, X/Y-Tisch, usw. wird von der ISRA Vision Systems AG geliefert.

Hierdurch lässt sich eine 100 prozentige Defekt- und Risskontrolle jedes einzelnen Dies in wenigen Sekunden realisieren. Bei einem erkannten Defekt wird der einzelne Die „geinked“und im folgenden Schritt durch einen Pick & Place Roboter entfernt. Somit kann im Fall von oberflächlichen, aber auch im Kristall befindlichen Defekten, der Ausschuss auf ein Minimum reduziert werden, was die Produktionsausbeute (Yield) wesentlich verbessert.